发明名称 |
MOCVD设备的喷淋头及MOCVD设备 |
摘要 |
本发明提供了一种MOCVD设备的喷淋头,包括:III族源气体腔、多个III族源气体管道、冷却腔和热壁板;所述冷却腔位于所述III族源气体腔和所述热壁板之间;所述热壁板上设有多个通孔,所述III族源气体管道的一端设置于所述通孔的内部,所述III族源气体管道的另一端与所述III族源气体腔连接;其中,III族源气体管道穿过的通孔为第一通孔,所述第一通孔的孔径沿所述III族源气体管道延伸方向不唯一。在本发明提供的MOCVD设备的喷淋头中,通过调整热壁板中第一通孔的形状,使得热壁板的孔壁至少有一部分远离III族源气体管道,减少热壁板向III族源气体管道辐射的热量,由此降低III族源气体管道中的III族源气体的温度,减少III族源气体的预分解,从而提高设备的沉积效率。 |
申请公布号 |
CN103409730A |
申请公布日期 |
2013.11.27 |
申请号 |
CN201310360260.5 |
申请日期 |
2013.08.16 |
申请人 |
光垒光电科技(上海)有限公司 |
发明人 |
谭华强;黄允文;乔徽;林翔;苏育家 |
分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
郑玮 |
主权项 |
一种MOCVD设备的喷淋头,其特征在于,包括:III族源气体腔、多个III族源气体管道、冷却腔和热壁板;所述冷却腔位于所述III族源气体腔和所述热壁板之间;所述热壁板上设有多个通孔,所述III族源气体管道的一端与所述III族源气体腔连接,所述III族源气体管道的另一端穿过所述冷却腔和所述热壁板的通孔;其中,III族源气体管道穿过的通孔为第一通孔,所述第一通孔的孔径沿所述III族源气体管道延伸方向不唯一。 |
地址 |
200050 上海市长宁区延安西路889号1106B室 |