发明名称 使用厚度不一之介电质的记忆体单元
摘要 本发明提供一种记忆体单元(36、110),藉由注入电荷至该记忆体单元之一电荷储存层(42、116)中而程式化该记忆体单元。所要程式化电荷在该记忆体单元之一通道区域之一边缘部分上产生于该电荷储存层中。不当程式化电荷在该通道区域之内部部分上产生于该电荷储存层中。使用电荷穿隧来大体上移除该电荷储存层中之不当程式化电荷。在一形式中,该记忆体单元具有:一具有一通道区域之基板(38、112)、该基板上之一第一介电层(40、114)及该第一介电层上之一电荷储存层(42、116)。该电荷储存层上之一第二介电层(44、130)具有一比一第二部分(106)厚之第一部分(58或54、104或108)以选择性地控制电荷穿隧。
申请公布号 TWI413238 申请公布日期 2013.10.21
申请号 TW095149108 申请日期 2006.12.27
申请人 飞思卡尔半导体公司 美国 发明人 克雷格T 史威特;高利珊卡L 琴德洛
分类号 H01L27/115;H01L29/792;H01L21/8247 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 美国