| 发明名称 | 固体摄像装置制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种固体摄像装置制造方法，在所述固体摄像装置中，在基板上形成有检测电磁波并产生信号电荷的电荷生成部，并且在所述电荷生成部的检测面上方形成有具有负固定电荷的负电荷累积层，所述方法包括以下步骤：在所述电荷生成部的检测面上形成能够供氧的供氧膜。本发明能够减小由界面态引起的暗电流。 | ||
| 申请公布号 | CN102214671B | 申请公布日期 | 2013.10.16 |
| 申请号 | CN201110156826.3 | 申请日期 | 2009.02.18 |
| 申请人 | 索尼株式会社 | 发明人 | 桧山晋;平野智之 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 陈桂香;武玉琴 |
| 主权项 | 一种固体摄像装置制造方法，在所述固体摄像装置中，在基板上形成有检测电磁波并产生信号电荷的电荷生成部，并且在所述电荷生成部的检测面上方形成有具有负固定电荷的负电荷累积层，所述方法包括以下步骤：在所述电荷生成部的检测面上形成能够供氧的供氧膜，及在除了所述电荷生成部的检测面区域之外的区域中形成不含氧的非供氧膜。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||