承载装置与处理基板的方法

摘要

一种承载装置，适于承载基板与具有至少一个开口的遮罩。此承载装置包括承载构件、多个导引构件以及压合构件。导引构件配置于承载构件上。每一个导引构件包括依序配置于承载构件上的第一弹性部分、第一承载部分、第二弹性部分与第二承载部分。压合构件用于将遮罩与基板压合于承载构件上。本发明另提供一种使用此承载装置进行的处理基板的方法。