| 摘要 |
Es ist eine Einrichtung zum Vorbereiten einer Probe bereitgestellt, welche enthält: eine Probenstufe, welche eine Probe hält; eine Säule eines fokussierten Ionenstrahls, welche einen fokussierten Ionenstrahl an die gleiche Probe anlegt und die Probe verarbeitet; und eine Bestrahlungsbereich-Einstelleinheit, welche einen Bestrahlungsbereich eines fokussierten Ionenstrahls einstellt, welcher einen ersten Bestrahlungsbereich, welcher zur Ausbildung eines Beobachtungsfeldes verwendet wird, welches mit einem Elektronenstrahl bestrahlt wird, um Rückstreu-Elektronen zu erfassen, und einen zweiten Bestrahlungsbereich, welcher zur Ausbildung einer geneigten Fläche verwendet wird, welche mit Bezug auf die senkrechte Linie des Beobachtungsfeldes bei einem Winkel von 67,5° oder mehr und weniger als 90° geneigt ist, umfasst.
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