柔性衬底硅基薄膜太阳能电池集成内联组件的制备方法

摘要

本发明提供一种柔性衬底硅基薄膜太阳能电池集成内联组件的制备方法，涉及到太阳电池集成内联技术，属于新型能源中薄膜太阳电池的领域。本发明在于根据衬底透光性差及电池为NIP结构，设计电池的内联方式，将激光刻蚀工艺贯穿于硅基薄膜太阳电池制备的流程中，并将丝网印刷技术结合进来，最终获得硅基薄膜电池集成内联组件。有利于使生产提高并降低成本，加快该类型电池的产业化进程；提高大面积电池的开路电压，有利于降低组件拼接的复杂性，提高组件的可靠性。

主权项

一种柔性衬底硅基薄膜太阳能电池集成内联组件的制备方法，其特征在于，包括：步骤1：将聚酰亚胺衬底放入乙醇溶液中，经多次超声振荡，清洗干净，并吹干待用；步骤2：采用磁控溅射设备，在清洗后的聚酰亚胺衬底上，制备银和氧化锌导电膜层作为背电极；步骤3：在溅射了背电极的样品上，Nd:YVO4激光刻蚀背电极膜层，将背电极分割成多个小面积区域；步骤4：在激光刻蚀了背电极的样品上，制备NIP型硅基薄膜吸收层；步骤5：采用磁控溅射的方法，在生长了硅基吸收层的样品上，制备氧化铟锡前电极；步骤6：在生长了前电极的样品上，倍频Nd:YVO4激光刻蚀前电极和吸收层；步骤7：在上述激光刻蚀了前电极和吸收层的样品上，通过印刷技术，在前电极膜层上印刷银栅线，并用银浆填充在前电极和吸收层的刻槽；步骤8：在印刷了银栅线的样品上，倍频Nd:YVO4激光刻蚀前电极；步骤9：激光刻蚀绝缘线；步骤10：从集成内联组件引出电池的正极和负极，然后进行封装。