半导体元件

摘要

本发明是有关于一种半导体元件，包括一基材、一金属层、一绝缘层、一半导体层、一漏极以及一源极。基材具有一表面以及一第一凹槽。金属层配置于基材上，且覆盖表面以及第一凹槽的内壁，而定义出一对应第一凹槽的第二凹槽。绝缘层覆盖金属层与第二凹槽的内壁，而定义出一对应第二凹槽的第三凹槽。半导体层暴露出部分绝缘层且覆盖第三凹槽的内壁，而定义出一对应第三凹槽的第四凹槽。漏极与源极配置于半导体层上，且覆盖部分半导体层与部分绝缘层。漏极与源极暴露出第四凹槽。

主权项

一种半导体元件，配置于一基板上，其特征在于，该半导体元件包括：一基材，具有一表面以及一位于该表面的第一凹槽；一金属层，配置于该基材上，且覆盖该表面及该第一凹槽的内壁，而定义出一对应该第一凹槽的第二凹槽；一绝缘层，配置于该金属层上，且覆盖该金属层与该第二凹槽的内壁，而定义出一对应该第二凹槽的第三凹槽；一半导体层，配置于该绝缘层上，且暴露出部分该绝缘层，该半导体层覆盖该第三凹槽的内壁，而定义出一对应该第三凹槽的第四凹槽；一漏极，配置于该半导体层上，且覆盖部分该半导体层与部分该绝缘层，其中该漏极暴露出该第四凹槽；以及一源极，配置于该半导体层上，且覆盖部分该半导体层与部分该绝缘层，其中该源极暴露出该第四凹槽。