具有在滤色片中形成的波导的图像传感器

摘要

本发明揭示具有置于衬底中的像素阵列的一种图像传感器。每个像素包括光敏元件、滤色片及波导壁。这些波导壁置于滤色片中且围绕部分滤色片以通过该滤色片形成波导。这些波导壁的折射率比滤色片的折射率小。图像传感器可以是背面照明(BSI)或者是正面照明(FSI)的。在一些实施例中，金属壁可耦合至波导壁。

主权项

一种图像传感器，包括：像素阵列，其置于半导体衬底中，所述像素阵列进一步包括：多个光敏元件，其置于所述半导体衬底中；多个滤色片，其置于所述半导体衬底上；以及多个波导壁，其置于所述多个滤色片中，其中所述多个波导壁围绕着所述多个滤色片形成多个波导，其中所述像素阵列在所述半导体衬底的第一面上，且金属层设置在所述半导体衬底的第二面上。