| 发明名称 |
ABRASIVE PARTICLES FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1660606(B1) |
申请公布日期 |
2013.09.04 |
| 申请号 |
EP20040777834 |
申请日期 |
2004.07.09 |
| 申请人 |
W.R. GRACE & CO. - CONN. |
发明人 |
CHU, JIA-NI;PRYOR, JAMES NEIL |
| 分类号 |
C09K3/14;B24B37/04;C09G1/02;H01L21/321 |
主分类号 |
C09K3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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