发明名称 |
阴极体以及采用该阴极体的荧光管 |
摘要 |
本发明的课题是提供具有高亮度、高效率且长寿命的阴极体。在由含有氧化镧的热传导率高的金属合金形成的圆筒状杯体上,采用能够以低电子温度进行溅射的磁控溅射装置,形成LaB6膜,由此来制造本发明的阴极体。 |
申请公布号 |
CN101802967B |
申请公布日期 |
2013.08.28 |
申请号 |
CN200880106539.8 |
申请日期 |
2008.09.12 |
申请人 |
国立大学法人东北大学;财团法人国际科学振兴财团 |
发明人 |
大见忠弘;后藤哲也 |
分类号 |
H01J61/06(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I;H01J61/70(2006.01)I |
主分类号 |
H01J61/06(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
汪惠民 |
主权项 |
一种LaB6膜的制造方法,具有在基板上溅射形成LaB6膜的工序,该LaB6膜的制造方法的特征在于,通过RF‑DC耦合放电,将标准化离子照射量设为5~17来溅射形成该LaB6膜,并且使该LaB6膜在(100)面配向,在基板上溅射形成LaB6膜的工序之后,具有在惰性气体氛围中对该LaB6膜进行热处理的工序。 |
地址 |
日本国宫城县 |