超音波清洗流体、方法及设备

摘要

一种包含分散气体的清洗流体，系藉由使含有溶解气体的液体在气泡机中接受减压以产生气体/液体分散剂，而免除使用超音波能量而引发空化(cavitation)。此清洗流体可使用包含支座以及振动器的装置来清洗例如半导体晶圆的物件，此振动器用以将超音波(ultrasonic)或百万周波超音波(megasonic)能量供应至此物件。