Matriz CMUT de unión de ondas con vías conductoras

摘要

Una matriz de CMUT unida a la oblea que comprende una pluralidad de elementos de CMUT distribuidos a través de un sustrato, cada elemento comprende una cavidad (38) y un electrodo de señal (36) formado en el sustrato, y una membrana conductora (39) que cierra la cavidad y forma un electrodo de masa, en donde las membranas de los elementos individuales forman un plano de tierra intacto a través de la superficie de la matriz y en donde la conexión eléctrica a los electrodos de señal se provee por medio de vías conductoras que dependen de los mismos a través del sustrato desde el electrodo de la señal hacia la parte trasera del sustrato.