真空泵

摘要

本发明提供一种通过使由热引起的连接器针的膨胀的影响减少而防止焊接部分的裂缝并且防止电子元件损伤的真空泵。由于底部空间（301）内的加温导致针（207）线膨胀。底部空间（301）内是真空，因此处于特别容易推进加温的环境。因此，螺钉（235A）配设在AMB控制基板（209）的左端缘部附近。而且，由于在该螺钉（235A）的右方不具有螺钉，AMB控制基板（209）朝向右侧开放。在存在伴随着热的针（207）的膨胀的情况下，以螺钉（235A）为支点弯曲角度θ2，但是由于该弯曲角平缓，所以AMB控制基板（209）与针（207）之间的焊料连接部分断裂的可能性变得极小。此外，能够使对电子元件造成的影响也减少AMB控制基板（209）的变形压力变小的量。

主权项

一种真空泵，其特征在于，具备：基板（209），装载有电子元件；多根针（207），被焊接于该基板（209），并且配设在该基板（209）的从中心偏离的一端侧；板（201），具有该针（207）；以及连结构件（235A），将所述基板（209）与所述板（201）连结，该连结构件（235A）配设在所述基板（209）的从中心偏离的另一端侧缘部附近。