Method of measuring ionic distribution function in a low-temperature plasma, measuring system for making the method and a probe for such measuring system

摘要

Zpusob merení iontové distribucní funkce v nízkoteplotním plazmatu diagnostikového plazmatického objektu (4) v merícím systému aplikovaném na plazmochemickém reaktoru (1), který je vybaven napájecím zdrojem (2) napojeným na výbojovou elektrodu (21) a referencní elektrodu (22), je v nem zabudována sonda (3) opatrená sbernou elektrodou (301) a který je propojen na rídicí a merící jednotku (5), kde podstata resení spocívá v tom, ze po primárním nastavení parametru mericího systému pomocí proudových hodnot zdroje (8) referencního napetí je na sberné elektrode (301) snímána volt-ampérová charakteristika iontové slozky proudu vzniklého napájením výboju a procházejícího obvodem: plazmatický objekt (4) - sberná elektroda (301) - proudový prevodník (7) - zdroj (8) referencního napetí - referencní elektroda (22), z níz je vyhodnocením v rídicí a mericí jednotce (5) stanovena iontová distribucní funkce plazmatického zdroje (4). Dále je podstatou resení merící systém pro provádení tohoto zpusobu a konstrukce sondy (3) pro tento merící systém.