一种用于镀膜设备的监控装置

摘要

本实用新型涉及一种用于镀膜设备的监控装置，用来监测镀膜设备的内部状态和故障，属于太阳能电池镀膜设备技术领域。解决连续镀膜设备内的故障及工作状况监控等技术问题，用于镀膜设备的监控装置，该监控装置呈箱体结构，由内外箱体套合为一体，其中内箱体为一密封箱，其内装有监控器；所述监控装置随镀膜基片进入连续式镀膜设备内，监控镀膜设备各个腔室内的状况。本实用新型结构简单，当需要了解连续镀膜机腔室内状态或者锁定故障位置时，将该监控装置随镀膜基片一起传送入真空腔室内，监控装置通过数据线和控制器将镀膜设备的状况反馈到外部显示器，可以准确的掌握镀膜机状态。

主权项

一种用于镀膜设备的监控装置，其特征在于所述监控装置呈箱体结构，由内外箱体套合为一体，其中内箱体为一密封箱，其内装有监控器；所述监控装置随镀膜基片进入连续式镀膜设备内，监控镀膜设备各个腔室内的状况。