角速度传感器

摘要

本发明提供一种传感器装置，相对于在第1驱动电极与检测电极之间产生的第1寄生电容、和在第2驱动电极与检测电极之间产生的第2寄生电容的比，将第1驱动信号的振幅与第2驱动信号的振幅的比设定为其倒数。由此，能够高效地抵消由电容耦合所产生的噪声分量，能够提高角速度传感信号的检测精度。

主权项

一种角速度传感器，其具备：驱动电路；检测元件，其根据来自所述驱动电路的驱动信号而振动；检测电路，其从所述检测元件中抽出响应信号并输出；和信号处理电路，其从所述响应信号中抽出角速度传感信号并输出，所述检测元件具有：第1驱动电极及第2驱动电极；和检测电极，所述驱动电路对所述第1驱动电极输入第1驱动信号，对所述第2驱动电极输入相对于所述第1驱动信号极性反转了的第2驱动信号，根据所述第1驱动信号与所述第2驱动信号的差动来驱动所述检测元件，相对于在所述第1驱动电极与所述检测电极之间产生的第1寄生电容、和在所述第2驱动电极与所述检测电极之间产生的第2寄生电容的大小关系，将所述第1驱动信号和所述第2驱动信号的振幅的大小关系设定为相反。