一种用于晶圆退火炉的冷却系统

摘要

本实用新型公开了一种用于晶圆退火炉的冷却系统，包括冷冻水系统和冷却水系统，所述冷却水系统包括依次连接并形成封闭循环回路的变频泵、换热器、过滤器和螺旋形冷却水管，所述螺旋形冷却水管缠绕在所述晶圆退火炉的外壁上；冷冻水系统包括冷冻机和循环泵，冷冻机、循环泵和换热器依次连接并形成封闭循环回路。本实用新型冷却系统大大减少了退火完成后冷却至常温的等待时间，即只需要1个小时就能使其冷却到常温，由此大大提高了产能，每天能多产50片晶圆，同时，设备的利用率也大大提高。

主权项

一种用于晶圆退火炉的冷却系统，所述冷却系统安装于所述晶圆退火炉上，所述冷却系统包括冷冻水系统和冷却水系统，其特征在于，所述冷却水系统包括变频泵、换热器、过滤器和螺旋形冷却水管，其中，所述变频泵的出水口与所述换热器的第一进水口连接，所述换热器的第一出水口通过所述过滤器与所述螺旋形冷却水管的进水口连接，所述螺旋形冷却水管的进水口与所述变频泵的进水口连接，所述螺旋形冷却水管缠绕在所述晶圆退火炉的外壁上；所述冷冻水系统包括冷冻机和循环泵，所述冷冻机的出水口与所述循环泵的进水口连接，所述循环泵的出水口与所述换热器的第二进水口连接，所述换热器的第二出水口与所述冷冻机的进水口连接。