用于处理来自制程的可燃性废气的系统及方法

摘要

本发明提供一种处理可燃性废气的系统。该系统包括：排气导管，其将该可燃性废气运送至消减单元；控制系统，其耦合至该消减单元以判定该消减单元的参数；旁路阀，其耦合至该排气导管，并操作性地响应于监控系统；以及第二气体源，当该旁路阀在旁路模式下工作时，将第二气体与由该消减单元转向的废气混合，以提供混合气体，且该混合气体的可燃性低于废气。还提供了根据本发明的方法与数种其它实施方式。

主权项

一种对来自电子装置制程的可燃性废气进行处理的方法，所述方法包括以下步骤：将来自所述制程的所述可燃性废气提供至消减单元，所述消减单元适于消减所述可燃性废气；监控所述消减单元的参数；如果所述消减单元的所述参数落在预定界限之外时，使所述可燃性废气分流以绕过所述消减单元；并且将经转向的所述可燃性废气与第二气体混合，以形成气体混合物，且所述气体混合物相较于所述可燃性废气具有更低的可燃性。