发明名称 相变随机存取存储器件及其制造方法
摘要 本发明公开了一种相变随机存取存储器件及其制造方法。所述相变随机存取存储器件包括:半导体衬底,形成在所述半导体衬底上的开关元件;形成在所述开关元件上的多个相变结构;以及掩埋在所述多个相变结构之间的吸热层,其中,所述多个相变结构与所述吸热层绝缘。
申请公布号 CN103137863A 申请公布日期 2013.06.05
申请号 CN201210298827.6 申请日期 2012.08.21
申请人 爱思开海力士有限公司 发明人 朴南均
分类号 H01L45/00(2006.01)I;H01L27/24(2006.01)I 主分类号 H01L45/00(2006.01)I
代理机构 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人 石卓琼;俞波
主权项 一种相变随机存取存储器件,包括:半导体衬底;形成在所述半导体衬底上的开关元件;形成在所述开关元件上的多个相变结构;以及掩埋在所述多个相变结构之间的吸热层,其中,所述多个相变结构与所述吸热层绝缘。
地址 韩国京畿道