静压气体轴承及使用该静压气体轴承的直动引导装置

摘要

一种静压气体轴承及使用该静压气体轴承的直动引导装置，该静压气体轴承(1)包括：轴承基体(2)，该轴承基体由可热塑性合成树脂，或者在这些可热塑性合成树脂中含有30～50质量％的玻璃纤维、玻璃粉末、碳纤维或无机填充材的含有加强填充材的可热塑性合成树脂，或者铝或铝合金形成；以及轴承体(3)，该轴承体与轴承基体(2)通过粘接剂粘接而一体化，并由可热塑性树脂形成。

主权项

一种静压气体轴承，其特征在于，包括：轴承基体，该轴承基体具有基部、圆筒突出部及供气通路，所述圆筒突出部突设于所述基部的一方的面的外周缘，所述供气通路在一端开口于基部的一方的面上，在另一端开口于基部的外周面上；以及合成树脂制的轴承体，该轴承体具有圆环状凹部、环状凹槽及多个空气吹出孔，所述圆环状凹部形成于与基部的一方的面相对的轴承体的一方的面上，所述环状凹槽在轴承体的另一方的面上开口，所述多个空气吹出孔形成为自成节流孔，其在一端与环状凹槽连通，在另一端开口于圆环状凹部的圆环状底面，所述轴承体使与一方的面邻接的外周面与基部的圆筒突出部的内表面嵌合，并在该嵌合部进行粘接从而与轴承基体一体化，环状凹槽具有至少0.3mm的宽度、至少0.01mm的深度，空气吹出孔在其一端具有至少30μm的直径，在圆环状凹部与环状凹槽之间形成自成节流孔。