一种雪崩光电二极管过剩噪声因子测量系统

摘要

本发明公开了一种雪崩光电二极管（Avalanche Photo Diode，APD）过剩噪声因子测量系统，涉及半导体光电子器件的测试技术领域。本系统包括：光源、光耦合组件以及检测单元；所述检测单元包括：芯片测试工装夹具、偏置器、数字源表、放大器、噪声功率测试设备；光源通过光耦合组件照射在待测APD样品上，样品APD通过测试探针夹具与偏置器相连，数字源表与偏置器直流端口相连，偏置器交流端口连接放大器输入端，噪声功率测试设备连接放大器输出端。本发明通过同步测量APD噪声功率以及增益，实时，快速，精确的得出APD的过剩噪声因子。

主权项

一种雪崩光电二极管过剩噪声因子测量系统，其特征在于，包括：光源，光耦合组件以及检测单元；所述检测单元包括：芯片测试工装夹具，偏置器，数字源表以及噪声功率测试设备；所述光源通过所述光耦合组件照射在待测雪崩光电二极管样品上，样品雪崩光电二极管通过所述芯片测试工装夹具与所述偏置器相连，所述数字源表与所述偏置器的直流端口相连，所述偏置器交流端口连接所述放大器输入端，所述噪声功率测试设备连接所述放大器输出端。