发明名称 |
湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液及其制备方法 |
摘要 |
一种湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液,由双氧水、硝酸、氢氟酸和纯净水配制而成,纯净水、双氧水、硝酸、氢氟酸的体积比为:纯净水∶双氧水∶硝酸∶氢氟酸=1∶2~3∶0.5~1.0∶0.06~0.12。所述腐蚀液的制备方法,按上述配方在常温、常压下将计量好的纯净水与双氧水混合均匀,然后加入计量好的硝酸并混合均匀,继后加入计量好的氢氟酸并混合均匀。所述腐蚀液可干净、彻底地一次性去除SiO2 和/或Pt表面的LNO薄膜或LNO复合薄膜,得到边缘清晰、侧蚀比小的刻蚀图形。 |
申请公布号 |
CN103087718A |
申请公布日期 |
2013.05.08 |
申请号 |
CN201310015080.3 |
申请日期 |
2013.01.16 |
申请人 |
四川大学 |
发明人 |
余萍;陈潇洋;樊明雷;朱建国;张小山 |
分类号 |
C09K13/08(2006.01)I |
主分类号 |
C09K13/08(2006.01)I |
代理机构 |
成都科海专利事务有限责任公司 51202 |
代理人 |
黄幼陵 |
主权项 |
一种湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液,其特征在于由双氧水、硝酸、氢氟酸和纯净水配制而成,纯净水、双氧水、硝酸、氢氟酸的体积比为:纯净水∶双氧水∶硝酸∶氢氟酸=1∶2~3∶0.5~1.0∶0.06~0.12,所述双氧水的质量浓度为30%,所述硝酸的质量浓度为65%,所述氢氟酸的质量浓度为37%。 |
地址 |
610065 四川省成都市武侯区一环路南一段24号 |