独立式静电掺杂碳奈米管装置和其制造方法

摘要

本发明揭示一种用于形成一独立式静电掺杂碳奈米管装置的方法及其结构。该方法包括在一基板上提供一碳奈米管，使其具有独立的部分。形成该碳奈米管的一独立部分之一方式是将该基板的一部分移除。形成该碳奈米管的一独立部分之另一叙述方式是在第一基板部分上配置一对金属电极，将相邻于该金属电极的该第一基板部分移除，以及在该第一基板部分上共同配置一第二基板部分以形成一沟槽。