溅镀标靶，透明导电膜及透明电极

摘要

本发明系至少含有铟，锡及锌，含有Zn2SnO4所示尖晶石结构化合物及In2O3所示红绿柱石结构化合物之氧化物的烧结体为其特征之溅镀标靶。含有铟，锡，锌及氧，且以X线绕射(XRD)仅红绿柱石结构化合物之波峰可实质上观测到为其特征之溅镀标靶。