| 发明名称 | 光致抗蚀剂用树脂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其特别具有高耐热性、且具有良好的感光度·分辨率和高残膜性，其它特性也不劣于通用的光致抗蚀剂用树脂组合物。所述光致抗蚀剂用树脂组合物含有酚醛树脂、环状烯烃树脂以及含萘醌二叠氮基的化合物，优选环状烯烃树脂为降冰片烯树脂，该降冰片烯树脂优选具有酸性基团，特别是酚基，分子量为1000～500000道尔顿。 | ||
| 申请公布号 | CN103069339A | 申请公布日期 | 2013.04.24 |
| 申请号 | CN201180040734.7 | 申请日期 | 2011.08.23 |
| 申请人 | 住友电木株式会社 | 发明人 | 大西治;池田阳雄 |
| 分类号 | G03F7/023(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/023(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 苗堃;金世煜 |
| 主权项 | 一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其特征在于，含有酚醛清漆型酚醛树脂、环状烯烃树脂以及由含萘醌二叠氮基的化合物构成的光敏剂。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||