发明名称 电子元件生产用密封容器
摘要 本发明公开了一种电子元件生产用密封容器,其特征在于,包括密封盖和槽体,所述密封盖设置于槽体上端;所述槽体内壁设置有台阶;所述密封盖包括:压盖本体,所述压盖本体设置有容腔;旋转机构,所述旋转机构与容腔形状像适应,所述旋转机构可旋转地设置在容腔内;按压机构,所述按压机构可朝向槽体内壁往复移动地设置;传动机构,所述旋转机构与按压机构通过传动机构连接;所述旋转机构旋转时通过传动机构驱动按压机构往复移动;所述压盖本体与所述台阶之间设置有密封圈,所述按压机构朝槽体内壁移动时受槽体内壁压迫而带动压盖本体朝所述台阶移动而压缩密封圈。本发明结构简单,可提高密封性能。
申请公布号 CN103050373A 申请公布日期 2013.04.17
申请号 CN201210594022.6 申请日期 2012.12.31
申请人 上海新阳半导体材料股份有限公司 发明人 王振荣;刘红兵;陈概礼
分类号 H01L21/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 上海脱颖律师事务所 31259 代理人 李强
主权项 电子元件生产用密封容器,其特征在于,包括密封盖和槽体,所述密封盖设置于槽体上端;所述槽体内壁设置有台阶;所述密封盖包括:压盖本体,所述压盖本体设置有容腔;旋转机构,所述旋转机构与容腔形状像适应,所述旋转机构可旋转地设置在容腔内;按压机构,所述按压机构可朝向槽体内壁往复移动地设置;传动机构,所述旋转机构与按压机构通过传动机构连接;所述旋转机构旋转时通过传动机构驱动按压机构往复移动;所述压盖本体与所述台阶之间设置有密封圈,所述按压机构朝槽体内壁移动时受槽体内壁压迫而带动压盖本体朝所述台阶移动而压缩密封圈。
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