| 发明名称 |
Piezoelektrisches dünnes Filmelement, und Herstellungsverfahren desselben und piezoelektrische Dünnfilmvorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE112010005432(T5) |
申请公布日期 |
2013.03.28 |
| 申请号 |
DE20101105432T |
申请日期 |
2010.12.21 |
| 申请人 |
HITACHI CABLE, LTD |
发明人 |
SUENAGA, KAZUFUMI;SHIBATA, KENJI;SATO, HIDEKI;NOMOTO, AKIRA |
| 分类号 |
H01L41/18;C23C14/34;G01C19/56;H01L41/08;H01L41/09;H01L41/39;H03H9/17 |
主分类号 |
H01L41/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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