发明名称 METHOD FOR ETCHING THIN LAYERS OF OXIDE OR NITRIDE
摘要
申请公布号 CA870563(A) 申请公布日期 1971.05.11
申请号 CAD870563 申请日期
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人 MARTIN P. LEPSELTER
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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