薄膜电晶体液晶显示装置之蚀刻组成物（二）

摘要

本发明系关于薄膜电晶体液晶显示装置之蚀刻组成物，特别是含有磷酸、硝酸、醋酸、[H＋]离子浓度调节剂及水的薄膜电晶体液晶显示装置之蚀刻组成物。;本发明之蚀刻组成物使用同一组成物，将构成薄膜电晶体液晶显示装置之TFT(thin film transistor)的闸极线材料Mo/Al－Nd双层膜，仅靠湿式制程在不发生下部膜Al－Nd的底切(undercut)现象下进行蚀刻，藉而既可获得优良的斜面，同时具有亦可在源极/汲极(source/drain)线材料Mo单层膜形成优良的轮廓之效果。