一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统

摘要

本发明涉及冷却水循环系统，旨在提供一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统。该闭式冷却水循环系统包括水箱、机架、换热器、循环水泵；所述水箱安装于机架上，水箱上有设有一个进水口与循环冷却水回水管连接、一个出水口与循环水泵连接；所述换热器上设有一个被冷却介质出口与循环冷却水进水管连接、一个被冷却介质进口与循环水泵连接、一个冷却介质出口与外部冷却水回水管连接、一个冷却介质进口与外部冷却水进水管连接；所述换热器为板式换热器。本发明通过控制外部冷却水的流量，可实现循环冷却水温度根据拉晶工艺自动调节，且具有使用方便、结构简单、体积小、能耗低、成本低的优点。

主权项

一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统，包括水箱，其特征在于，所述闭式冷却水循环系统还包括机架、换热器、循环水泵；所述水箱安装于机架上，水箱上有设有一个进水口和一个出水口，进水口与循环冷却水回水管连接，出水口与循环水泵连接；所述换热器上设有一个被冷却介质出口、一个被冷却介质进口、一个冷却介质出口和一个冷却介质进口，被冷却介质出口与循环冷却水进水管连接，被冷却介质进口与循环水泵连接，冷却介质出口与外部冷却水回水管连接，冷却介质进口与外部冷却水进水管连接；所述换热器为板式换热器。