水溶性单晶硅片或多晶硅片切削液

摘要

水溶性单晶硅片或多晶硅片切削液，涉及一种用于光伏材料单晶硅或多晶硅的水溶性切削液的生产技术领域。本发明主要由分子量为200~800的聚烷二醇嵌段共聚物、氟碳表面活性剂或氟硅表面活性剂、润湿分散剂、极性溶剂及抗菌剂组成，本发明可在极低的浓度大幅度降低切削液的表面张力，可极大改善切削液对磨料的润湿性，避免磨料团聚造成硅片表面损伤或破裂，有利于切割精度及切割成品率的提高；本发明还降低了硅片的清洗难度。可同时适用于对单晶硅和多晶硅的切削加工，切割成品率可达97%。

主权项

一种水溶性单晶硅片或多晶硅片切削液，其特征在于：其由分子量为800的聚丙二醇、氟硅表面活性剂DC‑7、润湿分散剂TX‑12、极性溶剂乙二醇及抗菌剂异噻唑啉酮组成；其中，以浓度质量分数计，取分子量为800的聚丙二醇：90%；DC‑7：1%；TX‑12：3%；乙二醇：5%；异噻唑啉酮：1%；在20~120℃下，将各原料混合后，搅拌10~60min即得所述水溶性单晶硅片或多晶硅片切削液。