Verfahren zur Photoresistbeschichtung von mikromechanisch dreidimensional strukturierten Bauteilen in der Mikrostrukturtechnik sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
摘要
申请公布号
DE4228344(C2)
申请公布日期
1999.06.10
申请号
DE19924228344
申请日期
1992.08.26
申请人
INSTITUT FUER CHEMO-U.BIOSENSORIK E.V., 48565 STEINFURT, DE
发明人
FELD, HERBERT, DR., 4400 MUENSTER, DE;SUNDERMEIER, CHRISTIAN, DIPL.-ING., 4400 MUENSTER, DE;KNOLL, MEINHARD, PROF. DR., 4430 STEINFURT, DE
