基于探针的磁传感器测试方法及其系统

摘要

本发明涉及一种基于探针的磁传感器测试方法及其系统，其中基于探针的磁传感器测试方法，包括以下步骤：根据待测磁传感器的电路制作包括探针的探针卡，将待测磁传感器放置在测试台上；在X轴上设置至少一个磁线圈，通过控制所述磁线圈的电流大小和方向，来控制所述测试台X轴上的磁场方向及磁场强度；根据待测磁传感器的输出，计算出待测磁传感器X轴的偏置输出和/或灵敏度；通过电机控制所述探针与测试台上待测磁传感器的接触，直至测试台上待测磁传感器全部测试完毕。本发明涉及的基于探针的磁传感器测试方法及其系统，大大提高测试密度及测试效率，使得磁传感器的测试更具灵活性，且有效降低测试成本，有利于磁传感器的大规模生产和应用。

主权项

一种基于探针的磁传感器测试方法，其特征在于：其包括以下步骤：根据待测磁传感器的电路制作包括探针的探针卡，将待测磁传感器放置在测试台上；在X轴上设置至少一个磁线圈，通过控制所述磁线圈的电流大小和方向，来控制所述测试台X轴上的磁场方向及磁场强度；根据待测磁传感器的输出，计算出待测磁传感器X轴的偏置输出和/或灵敏度；通过电机控制所述探针与测试台上待测磁传感器的接触，直至测试台上待测磁传感器全部测试完毕。