用于测量表面的设备和方法

摘要

一种用于测量表面(2)的设备包括光源(3)、光引导装置(4-6)、检测器系统(10)和分析电路(15)。光源(3)产生具有重复率的光脉冲序列。光引导装置(4-6)可被控制以将光脉冲序列引导至表面(2)的表面区域(25)上。所述表面区域可从多个表面区域(25、28)中被选定。检测器系统适于接收被表面区域(25)散射和/或反射的至少一个光信号(21-24)。分析电路(15)被耦连至检测器系统(10)且适于确定由光脉冲序列得出的参考信号(19)和所述至少一个光信号(21-24)的信号分量之间的相位差，以确定表面区域(25)的位置。所述相位差是为频率对应于重复率的倍数的信号分量确定的。

主权项

一种用于测量表面（2；112）的设备，其包括产生具有重复率的光脉冲序列（61）的光源（3），能够被控制以将所述光脉冲序列引导至所述表面（2；112）的表面区域（25；117）上的光引导装置（4‑6;4,114;4,132,134），所述表面区域（25；117）能够从多个表面区域（25、27；117）中选定，配置为接收被表面区域（25；117）散射和/或反射的至少一个光信号（21‑24;21‑23,105;121‑123）的检测器布置（10；102；120；135），耦连至所述检测器布置（10;102;120;135）且被配置为确定由所述光脉冲序列得出的参考信号（19;86）和所述至少一个光信号（21‑24;21‑23,105;121‑123）的信号分量（51;81）之间的相位差以确定所述表面区域（25;117）的位置的分析电路（15）,所述检测器布置（10;102;120;135）包括被配置为用来接收多个被所述表面区域（25;117）散射至不同方向的光信号（21‑24;21‑23,105;121‑123）的多个检测器（11‑14;11‑13,104;11‑13），所述分析电路（15）被配置成，对于所述多个光信号的每一个光信号（21‑24;21‑23,105;121‑123），确定在由所述光脉冲序列得出的所述参考信号（19;86）和所述光信号（21‑24;21‑23,105;121‑123）的信号分量（51;81）之间的相位差，所述信号分量（51;81）相应地具有对应于所述重复率的倍数的频率。