用于校准气流稀释器的方法和系统

摘要

于此描述的优选实施方式能够使用更低成本的固定流量部件，诸如临界孔，其能够快速稳定到稳定流量。这些不能被调整以实现相等的流量，但是可选择以合理地接近他们的期望流量值。该实施方式确定了所有流量控制部件的流量的真实比率。实际流量没有被测量，但是接近相等的流量各自被馈送给公共流量计而且所指示流量计读数的比率被认为是与流量的比率相同。然后两个接近相等的流量被混合并与具有近似相同值的单个流量进行比较，等等。流量计仅用于比较接近相等的流量，因此不需要被校准也不需要在宽范围上是线性的。

主权项

一种用于校准气流稀释器的方法，该方法包括以下步骤：提供多个固定流量流体部件，这些固定流量流体部件被选择以提供期望的流量比率；通过将所述流量从所述部件中的一个或多个部件馈送通过公共流量计并测量通过所述流量部件的所述流量来获得通过所述多个固定流量部件的流体流量的测量以及从中确定流量的比率，从而获得通过所述部件的流量的所述测量。