半导体设备气体混合控制器

摘要

本发明涉及一种半导体设备气体混合控制器，采用以下技术方案：包括输入部分、控制处理部分、输出部分、RS485通讯端口和电源。输入部分包括模拟信号采集模块、氢氧比例输入模块和SIH4压力输入模块，输出部分包括模拟通道输出模块、控制通道输出模块、氢氧比例保护输出模块和SIH4超压输出模块，一个RS485通讯端与数字质量流量计相连，另一个RS485通讯端口与上位机相连。电源采用隔离DC-DC模块，电源经过隔离DC-DC模块转换为5个回路：气体质量流量计、模拟通道芯片、单片机系统、主通讯口和从通讯口所需电源。本发明控制器可根据上位机下达各气体的控制规则和程序来监控不同的质量流量计的气体流量，同时进行互锁和保护，可适用于气体模拟质量流量计或数字质量流量计，可与8个质量流量计相连，特别适用于半导体具有气体控制的设备，智能化高、功能强、成本低、精度高、安全可靠。

主权项

半导体设备气体混合控制器，其特征在于：包括输入部分、控制处理部分、输出部分、RS485通讯端口和电源，输入部分包括模拟信号采集模块、氢氧比例输入模块和SIH4压力输入模块，模拟信号采集模块采用芯片TLC2543，一端与气体质量流量计相连，采集质量流量计的模拟流量信号，完成A/D转换，包括11个模拟输入通道：8路质量流量计模拟输入通道，1路零点校准电路，1路满量程校准电路，1路SIH4压力信号检测电路；另一端与控制处理部分连接；控制部分采用STM8S单片机做主机，STM8S单片机通过从通讯口与上位机相连，输出部分包括模拟通道输出模块、控制通道输出模块、氢氧比例保护输出模块和SIH4超压输出模块， 模拟通道输出模块采用芯片AD5668，控制通道输出模块采用三极管MJD122G，RS485通讯端口包括主通讯口和从通讯口，主通讯口与数字质量流量计相连，采集数字质量流量计的流量信号，从通讯口与上位机相连，所述电源采用隔离DC‑DC模块，电源经过隔离DC‑DC模块转换为5个回路：气体质量流量计、模拟通道芯片、单片机系统、主通讯口和从通讯口所需电源。