一种高纯硅料烘干装置及烘干方法

摘要

本发明公开了一种高纯硅料烘干装置，包括箱体，箱体是一种带密封门的密封箱体，箱体的内腔中设有多层的烘盘支架，每层烘盘支架上设有齿轨，齿轨上设置有烘盘；箱体的侧壁开有两个破真空口；箱体的侧壁通过抽真空口与抽真空装置连通、通过真空验证孔与真空表连通、通过导热介质进口和导热介质出口同时与介质循环加热装置连通；抽真空装置及介质循环加热装置分别与控制装置通过信号连接。本发明还公开了一种高纯硅料烘干方法，将烘干的高纯硅料放置在密封的箱体内，使用真空泵抽真空，同时通过加热实现烘干，并实时检测烘干效果，直至符合技术要求，即成。本发明的装置及方法，结构简单，烘干效率高。

主权项

一种高纯硅料烘干装置，其特征在于：包括箱体（1），所述的箱体（1）是一种带密封门（6）的密封箱体，箱体（1）侧壁上开有抽真空口（7）和真空验证孔（9），抽真空口（7）与抽真空装置连通，真空验证孔（9）与真空表（2）连通；箱体（1）的侧壁上还设有导热介质进口（11）和导热介质出口（12），导热介质进口（11）和导热介质出口（12）与介质循环加热装置连通；箱体（1）的内腔中设有连通的多层的烘盘支架（15），上下相邻的烘盘支架（15）依次连通，所述烘盘支架（15）为中空管，烘盘支架（15）的一端与导热介质进口（11）连通，烘盘支架（15）另一端与导热介质出口（12）连通，每层的烘盘支架（15）上放置有一层烘盘（14）；抽真空装置及介质循环加热装置分别与控制装置连接。