| 发明名称 | N型直拉硅单晶的工艺方法 | ||
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种N型直拉单晶硅的工艺方法，采用的工艺条件包括：等径过程中的埚转为6-7rpm。通过控制该工艺等径过程中的埚转，有效地降低了生长的硅单晶棒的头部氧含量，提高了其头部的品质，从而提高硅单晶棒的利用率，节约了成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102220632B | 申请公布日期 | 2012.12.12 |
| 申请号 | CN201110171512.0 | 申请日期 | 2011.06.23 |
| 申请人 | 英利能源（中国）有限公司 | 发明人 | 高文宽;郭凯;王辉;刘磊 |
| 分类号 | C30B15/20(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 逯长明;王宝筠 |
| 主权项 | 一种N型直拉硅单晶的工艺方法，其特征在于，在8英寸的直拉硅单晶工艺的等径初期，采用的工艺条件包括：埚转为6‑7rpm；且在等径初期之前，放肩过程中形成的肩部高度为70‑100mm，肩部夹角为34°‑47°；以降低生长的硅单晶棒的头部氧含量。 | ||
| 地址 | 071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 | ||