发明名称 无核心封装基板的制造方法
摘要 一种无核心封装基板的制造方法,其系在一临时核心层之二侧分别依序堆叠一第一金属箔层、一第一介电层及第二金属箔层,该第一金属箔层具有一平坦表面及一粗糙表面,该平坦表面朝向该临时核心层,及该粗糙表面朝向该第一介电层。接着,对每一该第二金属箔层进行图案化,并堆叠至少一增层结构。在上述增层期间,该临时核心层暂时提供支撑作用。在完成增层之后,移除该临时核心层,以得到二无核心封装基板。
申请公布号 TWI377655 申请公布日期 2012.11.21
申请号 TW098101691 申请日期 2009.01.16
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 王建皓;李明锦
分类号 H01L23/485 主分类号 H01L23/485
代理机构 代理人 刘育志 台北市大安区敦化南路2段77号19楼
主权项 一种无核心封装基板的制造方法,其包含:提供一临时核心层,该临时核心层之每一侧具有一金属支撑层及一第一金属箔层,该金属支撑层具有一粗糙表面及一平坦表面,及该金属支撑层之平坦表面结合于该第一金属金箔之一平坦表面;在该临时核心层之二侧分别依序堆叠一第一介电层及第二金属箔层,其中该第一金属箔层之一粗糙表面朝向该第一介电层;对每一该第二金属箔层进行图案化,以分别形成一第二电路层;在每一该第二电路层外堆叠至少一增层结构,该增层结构包含一增层介电层及一增层金属箔层;及移除该临时核心层及金属支撑层,以得到二无核心封装基板,每一该无核心封装基板至少包含该第一金属箔层、第一介电层、第二电路层及至少一增层结构。如申请专利范围第1项所述之无核心封装基板的制造方法,其中在提供该临时核心层之步骤中,该临时核心层系为含有B阶段热固性树脂之核心层。如申请专利范围第1项所述之无核心封装基板的制造方法,其中该临时核心层之金属支撑层的厚度大于该第一金属箔层之厚度。如申请专利范围第1项所述之无核心封装基板的制造方法,其中在堆叠该增层结构之步骤后及移除该临时核心层之步骤前,另对该增层结构之增层介电层及增层金属箔层进行钻孔、填孔及图案化,以形成数个导通孔及一增层电路层。如申请专利范围第1项所述之无核心封装基板的制造方法,其中在得到该无核心封装基板之步骤后,另对该无核心封装基板之第一金属箔层及第一介电层进行钻孔、填孔及图案化,以形成一第一电路层及数个导通孔。如申请专利范围第5项所述之无核心封装基板的制造方法,其中在形成该第一电路层之步骤后,在该第一电路层上形成一防焊层,并对该防焊层进行图案化,以形成数个开口,裸露一部分的该第一电路层,以提供数个焊垫。如申请专利范围第1项所述之无核心封装基板的制造方法,其中在得到该无核心封装基板之步骤后,另对该增层结构之增层介电层及增层金属箔层进行钻孔、填孔及图案化,以形成数个导通孔及一增层电路层。如申请专利范围第7项所述之无核心封装基板的制造方法,其中在形成该增层电路层之步骤后,在该增层电路层上形成一防焊层,并对该防焊层进行图案化,以形成数个开口,裸露一部分的该增层电路层,以提供数个焊垫。如申请专利范围第6或8项所述之无核心封装基板的制造方法,其中在形成该防焊层及焊垫之步骤后,在该焊垫之表面形成一助焊层。如申请专利范围第9项所述之无核心封装基板的制造方法,其中该助焊层选自电镀镍层、电镀金层、无电镀镍化金层、浸镀银、浸镀锡或有机保护膜。如申请专利范围第1项所述之无核心封装基板的制造方法,其中该第一金属箔层、第二金属箔层及增层金属箔层之厚度实质介于10至35微米之间。如申请专利范围第1项所述之无核心封装基板的制造方法,其中该第一介电层及增层介电层之厚度实质介于30至55微米之间。
地址 高雄市楠梓区楠梓加工出口区经三路26号