流量测定装置及流速测定装置

摘要

一种流量测定装置或流速测定装置，具有：计测元件，由主管、与主管连结的入射管、与主管连结的出射管及与入射管连结的第一净化流体供给管构成；净化流体供给部，向计测元件的第一净化流体供给管供给净化流体；发光部，使激光向计测元件入射；受光部，接受从发光部入射且通过计测元件的激光，并将接受到的光量作为受光信号输出；计算部，基于从受光部输出的受光信号，算出流过计测元件的排放流体的流量或流速；控制部，控制各部的动作；流动方向检测部，检测流过计测元件的流体的流动方向。

主权项

一种流量测定装置，其特征在于，具有：计测元件，由主管、入射管、出射管及第一净化流体供给管构成，所述主管的两端开放且分别能够与流过流体的流路连结，所述入射管与所述主管连结且在与所述主管连结的一侧的相反侧的端部形成有能够使光通过的窗部，所述出射管与所述主管连结且在与所述主管连结的一侧的相反侧的端部形成有能够使光通过的窗部，所述第一净化流体供给管与所述入射管连结；净化流体供给部，向所述计测元件的所述第一净化流体供给管供给净化流体；发光部，使激光向所述入射管入射；受光部，接受从所述入射管入射且通过所述计测元件而从所述出射管射出的所述激光，并将接受到的光量作为受光信号输出；计算部，基于从所述受光部输出的受光信号，算出流过所述计测元件的流体的流量；流动方向检测部，检测流过所述计测元件的流体的流动方向；及控制部，控制各部的动作。