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发明名称 COMPOSITION FOR FORMING ETCHING STOPPER LAYER
摘要
申请公布号 EP1677343(B1) 申请公布日期 2012.11.14
申请号 EP20040787789 申请日期 2004.09.09
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 TASHIRO, YUJI;AOKI, HIROYUKI;ISHIKAWA, TOMONORI
分类号 H01L21/312;C08G77/52;C09D183/14;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
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