一种反提拉涂膜方法及其装置

摘要

本发明涉及一种反提拉涂膜方法及其装置，该装置包括了直流稳压电源、电动推杆、盛溶胶容器和基片固定装置，所述盛溶胶容器为恒温容器，所述盛溶胶容器安装在电动推杆的升降推杆上，所述电动推杆由直流稳压电源控制并通过电压调节其行进速度，所述盛溶胶容器旁侧还设置有用于固定基片的基片固定装置，该装置具有提拉速度可控范围宽、精度高、稳定性好、操作方便、涂膜的连续性好以及装置的制作成本低廉等优点，该装置可在任意形状、多种尺寸的基片上制备厚度从几十纳米到数个微米的薄膜，且制备的薄膜均匀性和一致性好。

主权项

一种反提拉涂膜方法，包括盛溶胶容器和基片固定装置，其特征在于：将盛溶胶容器安装在一升降装置上，将基片固定装置固定在升降装置旁侧的静止的结构上，通过升降装置驱动盛溶胶容器上下移动，使得盛溶胶容器与安装在基片固定装置上的基片产生相对运动，以实现反提拉涂膜。