热光学移相器

摘要

本发明提供了一种包括复合体和加热器的热光学移相器，其中复合体具有由芯层和包覆层所形成的光波导并具有4％或以上的Δ，加热器附装到该光波导，其中Δ为芯层的折射率与包覆层的折射率之间的差值相对于芯层的折射率的比值。复合体具有桥结构部分以及固定部分，桥结构部分沿着衬底表面设置并通过间隙与衬底表面相分离，固定部分在衬底上支撑桥结构部分并且与桥结构部分的两端相连。桥结构在沿着所述衬底表面的平面中具有半圆弧形状。

主权项

一种热光学移相器，其具有衬底(1)、以及包括光波导和加热器(6)的复合体，其中所述光波导包括芯层(4)和包覆层(3，5)，所述加热器附装在所述光波导上，所述热光学移相器的特征在于：所述复合体具有桥结构部分以及固定部分，所述桥结构部分通过间隙与所述衬底(1)的表面相分离并且沿着所述衬底的表面设置，所述固定部分在所述衬底(1)上支撑所述桥结构部分并且连接到所述桥结构部分的两端；所述桥结构部分在沿着所述衬底(1)的表面的平面中具有弯曲的形状；以及所述桥结构部分的两端在沿着所述衬底(1)的表面的平面中被形成为渐尖的形状，以朝向所述桥结构部分的中央区域减小宽度。