ION BEAM SCANNING CONTROL METHODS AND SYSTEMS FOR ION IMPLANTATION UNIFORMITY,申请号KR20077016003-传众专利搜索

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发明名称	ION BEAM SCANNING CONTROL METHODS AND SYSTEMS FOR ION IMPLANTATION UNIFORMITY
摘要
申请公布号	KR101196978(B1)	申请公布日期	2012.11.02
申请号	KR20077016003	申请日期	2006.01.04
申请人		发明人
分类号	H01L21/265	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
主权项
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