| 发明名称 | 利用压缩空气的衬底处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明的实施例大体包括一种处理装置，其利用压缩空气在生产线中的不同操作位置或工作站之间夹持并移动衬底。该处理装置包括夹持端，该夹持端经成形以便界定空心底座区域，在该空心底座区域中实现次大气压，以使得邻近定位的衬底被推向设置于该空心底座区域附近的接收组件。在某些实施例中，该夹持端经成形为翼形轮廓或大体上呈曲线，以使得流过形成于该衬底、接收组件与该夹持端之间的排出孔的气流为层流。 | ||
| 申请公布号 | CN102741997A | 申请公布日期 | 2012.10.17 |
| 申请号 | CN201180007651.8 | 申请日期 | 2011.01.26 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 乔达诺·洛克 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 一种用于夹持衬底(150)的处理装置，其包括：夹持盘(12)，其具有第一表面；支撑件(30)，其设置于所述夹持盘(12)的所述第一表面上，且具有衬底接触表面及第二表面，其中缝隙(28)形成于所述夹持盘(12)的所述第一表面与所述支撑件(30)的所述第二表面之间；以及一个或多个位置调节装置(36)，其与所述夹持盘(12)及所述支撑件(30)接触，其中所述一个或多个位置调节装置(36)相对于所述夹持盘(12)的位置能够经调节，以调节所形成的所述缝隙(28)的尺寸。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||