探针针压监测方法

摘要

本发明涉及一种探针针压监测方法，用于监测一设置于一寻边器的探针的针压，该监测方法先利用电子磅秤建立探针受压时的位移-力量数据，并在监测探针针压时，利用一可垂直位移的量测件压抵该探针，直到该寻边器的电性接点跳脱的临界点出现，由此，利用该临界点所对应的位移量以及前述建立的位移-力量数据，即可得出该探针于该临界点时的受力，即该探针实际进行点测作业时的针压。

主权项

一种探针针压监测方法，用于监测一设置于一寻边器的探针的针压，所述寻边器包含有：一架体，具有一第一电性接点；一能相对所述架体摆动的摆臂，具有一能与所述第一电性接点接触的第二电性接点，且所述摆臂的一端部能拆卸地固设有所述探针；一可调预力施加器，提供一强迫所述第二电性接点抵接所述第一电性接点的预力；所述探针针压监测方法包含有以下步骤：a)在不同预力条件下，分别使所述探针在接触一力量量测器的一量测面后，沿一垂直所述量测面的方向相对所述量测面进给以压抵所述力量量测器，且进给的动作至少持续到所述摆臂相对所述架体摆动使所述第二电性接点脱离所述第一电性接点的临界点出现，此临界点定义为参考临界点，以取得在不同预力条件下，探针进给位移量对应探针所承受的力量的位移‑力量数据；b)在探针进行点测作业之后，使探针接触一量测件的一量测面，而后，使所述量测件沿垂直其量测面的方向相对所述探针进给以压抵所述探针，且进给的动作至少持续到所述第二电性接点离开所述第一电性接点的临界点出现，此临界点定义为监测临界点，由此监测临界点的位移量以及所述位移‑力量数据，以取得所述探针在所述监测临界点时所承受的力量。