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发明名称
Vacuum coater device and mechanism for supporting and manipulating workpieces in same
摘要
申请公布号
EP1970463(B1)
申请公布日期
2012.09.05
申请号
EP20080152436
申请日期
2008.03.07
申请人
GENERAL ELECTRIC COMPANY
发明人
BRUCE, ROBERT WILLIAM;GROSSMANN, THEODORE ROBERT;EVANS, JR., JOHN DOUGLAS;PILSNER, BRIAN
分类号
C23C14/30;C23C14/50
主分类号
C23C14/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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