| 发明名称 | 用于图像传感器的光导阵列 | ||
| 摘要 | 用于图像传感器的光导阵列。提供一种图像传感器，其包含一由一衬底(106)支撑的光电转换单元(102)以及一位于该衬底邻近处的绝缘体(110)。该图像传感器包含一串联式光导(116，130)，该串联式光导位于该绝缘体的一开口内且在该绝缘体上方延伸，使得该串联式光导的一部分(130)具有一空气界面(424)。该空气界面会改进该串联式光导的内反射。该串联式光导可包含一自动对准彩色滤光片(114B，114G)，其在相邻彩色滤光片之间具有间隙(422)。该光导的前述特征不需要用到微透镜。除此之外，一抗反射堆叠(230)插设在该衬底(106)与该光导(116)之间，用以降低来自该图像传感器的向后反射。具有不同彩色滤光片的两个像素对于在该抗反射堆叠内的一抗反射膜可有不同的厚度。 | ||
| 申请公布号 | CN101971339B | 申请公布日期 | 2012.09.05 |
| 申请号 | CN200880123359.0 | 申请日期 | 2008.12.22 |
| 申请人 | 郑苍隆;坎德拉微系统(S)私人有限公司 | 发明人 | 郑苍隆;坦-特龙多 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 王小衡;王洪斌 |
| 主权项 | 一种用于制造一图像传感器像素的方法，其包含：在一衬底中的一光电转换单元上方形成一具有一开口的支撑膜；在所述开口中形成一彩色滤光片；以及移除所述支撑膜的至少一部分以在该彩色滤光片与一横向邻近的彩色滤光片之间形成一气隙，使得该气隙具有0.45微米或更小的一宽度。 | ||
| 地址 | 新加坡新加坡市 | ||