一种玻璃基板清洁系统及其离子风装置

摘要

本实用新型涉及玻璃基板维修过程中清洁设备领域，特别是涉及一种玻璃基板清洁系统及其离子风装置。该玻璃基板清洁系统，包括支撑柱和基台，通过支撑柱将玻璃基板放置在基台上，还包括位于玻璃基板上方的离子风生成器，离子风生成器的下方安装加热装置。本实用新型提供的一种玻璃基板清洁系统及其离子风装置，使得玻璃基板周边环境温度可控且易达到钨粉升华温度，便于钨粉结晶的快速升华，甚至可有效杜绝钨粉结晶现象的发生，加快了玻璃基板的维修效率进而确保了玻璃基板的清洁度，为最终产品良品率的提升提供了清洁保障。

主权项

一种离子风装置，其特征在于，包括：离子风生成器，其用于产生离子风；所述离子风生成器的下方安装加热装置。