测试装置、测试方法以及电子元件

摘要

本发明的目的是提供一种测试装置，为一种对被测试元件进行测试的测试装置，包括：图案记忆体，其以压缩形式存储着测试命令列，该测试命令列规定了用于测试被测试元件的测试序列；扩展部，其将从图案记忆体所读出的测试命令列以非压缩形式进行展开；命令快取部，其将扩展部所展开的测试命令列进行快取；图案产生部，其依次读出在命令快取部中所存储的命令并实行，且产生相对于所执行的命令的测试图案；以及信号输出部，其根据测试图案而生成测试信号，并供给到被测试元件。